ఎలక్ట్రానిక్ప్రత్యేక వాయువులుఇవి ప్రత్యేక వాయువుల యొక్క ఒక ముఖ్యమైన శాఖ. ఇవి సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తిలోని దాదాపు ప్రతి దశలోనూ అంతర్భాగంగా ఉంటాయి మరియు అతి భారీ సమీకృత సర్క్యూట్లు, ఫ్లాట్ ప్యానెల్ డిస్‌ప్లే పరికరాలు, మరియు సౌర ఘటాలు వంటి ఎలక్ట్రానిక్ పరిశ్రమల ఉత్పత్తికి అనివార్యమైన ముడి పదార్థాలుగా ఉంటాయి.

సెమీకండక్టర్ టెక్నాలజీలో, ఫ్లోరిన్ కలిగిన వాయువులు విస్తృతంగా ఉపయోగించబడతాయి. ప్రస్తుతం, ప్రపంచ ఎలక్ట్రానిక్ వాయువుల మార్కెట్‌లో, ఫ్లోరిన్ కలిగిన ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులు మొత్తం వాటాలో సుమారు 30% ఉన్నాయి. ఎలక్ట్రానిక్ సమాచార పదార్థాల రంగంలోని ప్రత్యేక ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులలో ఫ్లోరిన్ కలిగిన ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులు ఒక ముఖ్యమైన భాగం. వీటిని ప్రధానంగా క్లీనింగ్ ఏజెంట్లు మరియు ఎచింగ్ ఏజెంట్లుగా ఉపయోగిస్తారు, ఇంకా వీటిని డోపెంట్లు, ఫిల్మ్-ఫార్మింగ్ పదార్థాలు మొదలైన వాటిగా కూడా ఉపయోగించవచ్చు. ఈ వ్యాసంలో, రచయిత మిమ్మల్ని సాధారణ ఫ్లోరిన్ కలిగిన వాయువుల గురించి అర్థం చేసుకునేలా చేస్తారు.

కిందివి సాధారణంగా ఉపయోగించే ఫ్లోరిన్ కలిగిన వాయువులు

నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ (NF3): శుభ్రపరచడానికి మరియు మలినాలను తొలగించడానికి ఉపయోగించే ఒక వాయువు, సాధారణంగా దీనిని రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లు మరియు పరికరాల ఉపరితలాలను శుభ్రపరచడానికి ఉపయోగిస్తారు.

సల్ఫర్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (SF6)ఆక్సైడ్ నిక్షేపణ ప్రక్రియలలో మరియు ఇన్సులేటింగ్ మాధ్యమాలను నింపడానికి ఇన్సులేటింగ్ వాయువుగా ఉపయోగించే ఒక ఫ్లోరినేటింగ్ ఏజెంట్.

హైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్ (HF): సిలికాన్ ఉపరితలం నుండి ఆక్సైడ్‌లను తొలగించడానికి మరియు సిలికాన్ మరియు ఇతర పదార్థాలను ఎచింగ్ చేయడానికి ఎచెంట్‌గా ఉపయోగిస్తారు.

నైట్రోజన్ ఫ్లోరైడ్ (NF): సిలికాన్ నైట్రైడ్ (SiN) మరియు అల్యూమినియం నైట్రైడ్ (AlN) వంటి పదార్థాలను ఎచింగ్ చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు.

ట్రైఫ్లోరోమీథేన్ (CHF3) మరియుటెట్రాఫ్లోరోమీథేన్ (CF4)సిలికాన్ ఫ్లోరైడ్ మరియు అల్యూమినియం ఫ్లోరైడ్ వంటి ఫ్లోరైడ్ పదార్థాలను ఎచింగ్ చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు.

అయితే, ఫ్లోరిన్ కలిగిన వాయువులు విషపూరితత్వం, క్షయకరణ స్వభావం మరియు మండే స్వభావం వంటి కొన్ని ప్రమాదాలను కలిగి ఉంటాయి.

విషపూరితత

హైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్ (HF) వంటి కొన్ని ఫ్లోరిన్ కలిగిన వాయువులు విషపూరితమైనవి, దీని ఆవిరి చర్మానికి మరియు శ్వాసకోశానికి తీవ్ర చికాకు కలిగించి, మానవ ఆరోగ్యానికి హానికరం.

క్షయకారకత్వం

హైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్ మరియు కొన్ని ఫ్లోరైడ్‌లు అత్యంత తినివేసే స్వభావం కలిగి ఉంటాయి మరియు చర్మం, కళ్ళు మరియు శ్వాసకోశ మార్గానికి తీవ్రమైన నష్టాన్ని కలిగిస్తాయి.

మండే స్వభావం

కొన్ని ఫ్లోరైడ్‌లు మండే స్వభావం కలిగి ఉంటాయి మరియు గాలిలోని ఆక్సిజన్ లేదా నీటితో చర్య జరిపి తీవ్రమైన వేడిని, విష వాయువులను విడుదల చేస్తాయి, దీనివల్ల అగ్నిప్రమాదం లేదా పేలుడు సంభవించవచ్చు.

అధిక పీడన ప్రమాదం

కొన్ని ఫ్లోరినేటెడ్ వాయువులు అధిక పీడనం వద్ద పేలుడు స్వభావం కలిగి ఉంటాయి, కాబట్టి వాటిని ఉపయోగించేటప్పుడు మరియు నిల్వ చేసేటప్పుడు ప్రత్యేక శ్రద్ధ అవసరం.

పర్యావరణంపై ప్రభావం

ఫ్లోరిన్ కలిగిన వాయువులు అధిక వాతావరణ జీవితకాలాలను మరియు GWP విలువలను కలిగి ఉంటాయి, ఇవి వాతావరణంలోని ఓజోన్ పొరపై వినాశకరమైన ప్రభావాన్ని చూపుతాయి మరియు గ్లోబల్ వార్మింగ్, పర్యావరణ కాలుష్యానికి కారణం కావచ్చు.

ఎలక్ట్రానిక్స్ వంటి అభివృద్ధి చెందుతున్న రంగాలలో వాయువుల వినియోగం విస్తరిస్తూ, పారిశ్రామిక వాయువులకు భారీ స్థాయిలో కొత్త డిమాండ్‌ను సృష్టిస్తోంది. రాబోయే కొన్నేళ్లలో చైనా ప్రధాన భూభాగంలో సెమీకండక్టర్లు మరియు డిస్‌ప్లే ప్యానెళ్ల వంటి ప్రధాన ఎలక్ట్రానిక్ భాగాల భారీ కొత్త ఉత్పత్తి సామర్థ్యం, ​​అలాగే ఎలక్ట్రానిక్ రసాయన పదార్థాల దిగుమతి ప్రత్యామ్నాయానికి ఉన్న బలమైన డిమాండ్ ఆధారంగా, దేశీయ ఎలక్ట్రానిక్ గ్యాస్ పరిశ్రమ అధిక వృద్ధి రేటును అందుకోనుంది.