ఎలక్ట్రానిక్ప్రత్యేక వాయువులుప్రత్యేక వాయువుల యొక్క ముఖ్యమైన శాఖ. అవి సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తిలోని దాదాపు ప్రతి లింక్‌లోకి చొచ్చుకుపోతాయి మరియు అల్ట్రా-లార్జ్-స్కేల్ ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్‌లు, ఫ్లాట్ ప్యానెల్ డిస్‌ప్లే పరికరాలు మరియు సౌర ఘటాలు వంటి ఎలక్ట్రానిక్ పరిశ్రమల ఉత్పత్తికి అనివార్యమైన ముడి పదార్థాలు.

సెమీకండక్టర్ టెక్నాలజీలో, ఫ్లోరిన్ కలిగిన వాయువులు విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి. ప్రస్తుతం, ప్రపంచ ఎలక్ట్రానిక్ గ్యాస్ మార్కెట్లో, ఫ్లోరిన్ కలిగిన ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులు మొత్తంలో దాదాపు 30% వాటా కలిగి ఉన్నాయి. ఫ్లోరిన్ కలిగిన ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులు ఎలక్ట్రానిక్ సమాచార పదార్థాల రంగంలో ప్రత్యేక ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులలో ముఖ్యమైన భాగం. వీటిని ప్రధానంగా శుభ్రపరిచే ఏజెంట్లు మరియు ఎచింగ్ ఏజెంట్లుగా ఉపయోగిస్తారు మరియు డోపాంట్లు, ఫిల్మ్-ఫార్మింగ్ మెటీరియల్స్ మొదలైనవాటిగా కూడా ఉపయోగించవచ్చు. ఈ వ్యాసంలో, రచయిత మిమ్మల్ని సాధారణ ఫ్లోరిన్ కలిగిన వాయువులను అర్థం చేసుకోవడానికి తీసుకెళ్తారు.

సాధారణంగా ఉపయోగించే ఫ్లోరిన్ కలిగిన వాయువులు క్రిందివి:

నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ (NF3): నిక్షేపాలను శుభ్రపరచడానికి మరియు తొలగించడానికి ఉపయోగించే వాయువు, సాధారణంగా ప్రతిచర్య గదులు మరియు పరికరాల ఉపరితలాలను శుభ్రం చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు.

సల్ఫర్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (SF6): ఆక్సైడ్ నిక్షేపణ ప్రక్రియలలో మరియు ఇన్సులేటింగ్ మీడియాను నింపడానికి ఇన్సులేటింగ్ వాయువుగా ఉపయోగించే ఫ్లోరినేటింగ్ ఏజెంట్.

హైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్ (HF): సిలికాన్ ఉపరితలం నుండి ఆక్సైడ్‌లను తొలగించడానికి మరియు సిలికాన్ మరియు ఇతర పదార్థాలను చెక్కడానికి ఎచాంట్‌గా ఉపయోగిస్తారు.

నైట్రోజన్ ఫ్లోరైడ్ (NF): సిలికాన్ నైట్రైడ్ (SiN) మరియు అల్యూమినియం నైట్రైడ్ (AlN) వంటి పదార్థాలను చెక్కడానికి ఉపయోగిస్తారు.

ట్రైఫ్లోరోమీథేన్ (CHF3) మరియుటెట్రాఫ్లోరోమీథేన్ (CF4): సిలికాన్ ఫ్లోరైడ్ మరియు అల్యూమినియం ఫ్లోరైడ్ వంటి ఫ్లోరైడ్ పదార్థాలను చెక్కడానికి ఉపయోగిస్తారు.

అయితే, ఫ్లోరిన్ కలిగిన వాయువులు విషపూరితం, క్షయకారకత మరియు మండే స్వభావం వంటి కొన్ని ప్రమాదాలను కలిగి ఉంటాయి.

విషప్రభావం

కొన్ని ఫ్లోరిన్ కలిగిన వాయువులు విషపూరితమైనవి, ఉదాహరణకు హైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్ (HF), దీని ఆవిరి చర్మానికి మరియు శ్వాసకోశానికి చాలా చికాకు కలిగిస్తుంది మరియు మానవ ఆరోగ్యానికి హానికరం.

తుప్పు పట్టే గుణం

హైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్ మరియు కొన్ని ఫ్లోరైడ్లు అత్యంత తినివేయు గుణం కలిగి ఉంటాయి మరియు చర్మం, కళ్ళు మరియు శ్వాసకోశ వ్యవస్థకు తీవ్రమైన నష్టాన్ని కలిగిస్తాయి.

మండే గుణం

కొన్ని ఫ్లోరైడ్లు మండే గుణం కలిగి ఉండి, గాలిలోని ఆక్సిజన్ లేదా నీటితో చర్య జరిపి తీవ్రమైన వేడి మరియు విష వాయువులను విడుదల చేస్తాయి, ఇవి అగ్ని లేదా పేలుడుకు కారణమవుతాయి.

అధిక పీడన ప్రమాదం

కొన్ని ఫ్లోరినేటెడ్ వాయువులు అధిక పీడనం కింద పేలుడుగా ఉంటాయి మరియు ఉపయోగించినప్పుడు మరియు నిల్వ చేసినప్పుడు ప్రత్యేక శ్రద్ధ అవసరం.

పర్యావరణంపై ప్రభావం

ఫ్లోరిన్ కలిగిన వాయువులు అధిక వాతావరణ జీవితకాలం మరియు GWP విలువలను కలిగి ఉంటాయి, ఇవి వాతావరణ ఓజోన్ పొరపై విధ్వంసక ప్రభావాన్ని చూపుతాయి మరియు గ్లోబల్ వార్మింగ్ మరియు పర్యావరణ కాలుష్యానికి కారణమవుతాయి.

ఎలక్ట్రానిక్స్ వంటి అభివృద్ధి చెందుతున్న రంగాలలో వాయువుల వినియోగం మరింతగా పెరుగుతూనే ఉంది, దీనివల్ల పారిశ్రామిక వాయువులకు పెద్ద మొత్తంలో కొత్త డిమాండ్ ఏర్పడుతుంది. రాబోయే కొన్ని సంవత్సరాలలో చైనా ప్రధాన భూభాగంలో సెమీకండక్టర్లు మరియు డిస్ప్లే ప్యానెల్లు వంటి ప్రధాన ఎలక్ట్రానిక్ భాగాల యొక్క పెద్ద మొత్తంలో కొత్త ఉత్పత్తి సామర్థ్యం, ​​అలాగే ఎలక్ట్రానిక్ రసాయన పదార్థాల దిగుమతి ప్రత్యామ్నాయం కోసం బలమైన డిమాండ్ ఆధారంగా, దేశీయ ఎలక్ట్రానిక్ గ్యాస్ పరిశ్రమ అధిక వృద్ధి రేటుకు దారితీస్తుంది.