ఎలక్ట్రానిక్ప్రత్యేక వాయువులుప్రత్యేక వాయువుల యొక్క ముఖ్యమైన శాఖ. అవి సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి యొక్క దాదాపు ప్రతి లింక్‌ను చొచ్చుకుపోతాయి మరియు అల్ట్రా-లార్జ్-స్కేల్ ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్లు, ఫ్లాట్ ప్యానెల్ డిస్ప్లే పరికరాలు మరియు సౌర ఘటాలు వంటి ఎలక్ట్రానిక్ పరిశ్రమల ఉత్పత్తికి అనివార్యమైన ముడి పదార్థాలు.

సెమీకండక్టర్ టెక్నాలజీలో, ఫ్లోరిన్ కలిగిన వాయువులను విస్తృతంగా ఉపయోగిస్తారు. ప్రస్తుతం, గ్లోబల్ ఎలక్ట్రానిక్ గ్యాస్ మార్కెట్లో, ఫ్లోరిన్ కలిగిన ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులు మొత్తం 30% ఉన్నాయి. ఎలక్ట్రానిక్ సమాచార పదార్థాల రంగంలో ప్రత్యేక ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులలో ఫ్లోరిన్ కలిగిన ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులు ఒక ముఖ్యమైన భాగం. వీటిని ప్రధానంగా శుభ్రపరిచే ఏజెంట్లు మరియు ఎచింగ్ ఏజెంట్లుగా ఉపయోగిస్తారు మరియు డోపాంట్లు, ఫిల్మ్-ఏర్పడే పదార్థాలు మొదలైనవిగా కూడా ఉపయోగించవచ్చు. ఈ వ్యాసంలో, రచయిత సాధారణ ఫ్లోరిన్ కలిగిన వాయువులను అర్థం చేసుకోవడానికి మిమ్మల్ని తీసుకువెళతారు.

కిందివి సాధారణంగా ఉపయోగించే ఫ్లోరిన్ కలిగిన వాయువులు

నత్రజని ట్రిఫ్లోరైడ్ (NF3): నిక్షేపాలను శుభ్రపరచడానికి మరియు తొలగించడానికి ఉపయోగించే వాయువు, సాధారణంగా ప్రతిచర్య గదులు మరియు పరికరాల ఉపరితలాలను శుభ్రపరచడానికి ఉపయోగిస్తారు.

సల్ఫర్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (SF6): ఆక్సైడ్ నిక్షేపణ ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే ఫ్లోరినేటింగ్ ఏజెంట్ మరియు ఇన్సులేటింగ్ మీడియాను నింపడానికి ఇన్సులేటింగ్ వాయువుగా.

హైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్ (హెచ్‌ఎఫ్): సిలికాన్ ఉపరితలం నుండి ఆక్సైడ్లను తొలగించడానికి మరియు సిలికాన్ మరియు ఇతర పదార్థాలను చెక్కడానికి ఎట్చాన్‌గా ఉపయోగిస్తారు.

నత్రజని ఫ్లోరైడ్ (NF): సిలికాన్ నైట్రైడ్ (పాపం) మరియు అల్యూమినియం నైట్రైడ్ (ALN) వంటి పదార్థాలను ఎట్చ్ చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు.

ట్రిఫ్లోరోమీథేన్ (CHF3) మరియుటెట్రాఫ్లోరోమీథేన్ (సిఎఫ్ 4): సిలికాన్ ఫ్లోరైడ్ మరియు అల్యూమినియం ఫ్లోరైడ్ వంటి ఫ్లోరైడ్ పదార్థాలను రూపొందించడానికి ఉపయోగిస్తారు.

అయినప్పటికీ, ఫ్లోరిన్ కలిగిన వాయువులు విషపూరితం, తినివేయు మరియు మంటలతో సహా కొన్ని ప్రమాదాలను కలిగి ఉంటాయి.

విషపూరితం

హైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్ (హెచ్‌ఎఫ్) వంటి కొన్ని ఫ్లోరిన్ కలిగిన వాయువులు విషపూరితమైనవి, దీని ఆవిరి చర్మం మరియు శ్వాసకోశానికి చాలా చికాకు కలిగిస్తుంది మరియు మానవ ఆరోగ్యానికి హానికరం.

తినివేయు

హైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్ మరియు కొన్ని ఫ్లోరైడ్లు చాలా తినివేయు మరియు చర్మం, కళ్ళు మరియు శ్వాసకోశానికి తీవ్రమైన నష్టాన్ని కలిగిస్తాయి.

మండే

కొన్ని ఫ్లోరైడ్లు మండేవి మరియు తీవ్రమైన వేడి మరియు విష వాయువులను విడుదల చేయడానికి గాలిలో ఆక్సిజన్ లేదా నీటితో ప్రతిస్పందిస్తాయి, ఇవి అగ్ని లేదా పేలుడుకు కారణం కావచ్చు.

అధిక పీడన ప్రమాదం

కొన్ని ఫ్లోరినేటెడ్ వాయువులు అధిక పీడనంలో పేలుడుగా ఉంటాయి మరియు ఉపయోగించినప్పుడు మరియు నిల్వ చేసినప్పుడు ప్రత్యేక సంరక్షణ అవసరం.

పర్యావరణంపై ప్రభావం

ఫ్లోరిన్ కలిగిన వాయువులు అధిక వాతావరణ జీవితకాలం మరియు GWP విలువలను కలిగి ఉంటాయి, ఇవి వాతావరణ ఓజోన్ పొరపై విధ్వంసక ప్రభావాన్ని కలిగి ఉంటాయి మరియు గ్లోబల్ వార్మింగ్ మరియు పర్యావరణ కాలుష్యానికి కారణం కావచ్చు.

ఎలక్ట్రానిక్స్ వంటి అభివృద్ధి చెందుతున్న పొలాలలో వాయువుల అనువర్తనం మరింత లోతుగా కొనసాగుతోంది, పారిశ్రామిక వాయువులకు పెద్ద మొత్తంలో కొత్త డిమాండ్ తెస్తుంది. రాబోయే కొన్నేళ్లలో ప్రధాన భూభాగ చైనాలో సెమీకండక్టర్స్ మరియు డిస్ప్లే ప్యానెల్లు వంటి ప్రధాన ఎలక్ట్రానిక్ భాగాల యొక్క పెద్ద ఉత్పత్తి సామర్థ్యం, ​​అలాగే ఎలక్ట్రానిక్ రసాయన పదార్థాల దిగుమతి ప్రత్యామ్నాయం కోసం బలమైన డిమాండ్ ఆధారంగా, దేశీయ ఎలక్ట్రానిక్ గ్యాస్ పరిశ్రమ అధిక వృద్ధి రేటుకు దారితీస్తుంది.