ఎలక్ట్రానిక్ప్రత్యేక వాయువులుప్రత్యేక వాయువుల యొక్క ముఖ్యమైన శాఖ. అవి సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తికి సంబంధించిన దాదాపు ప్రతి లింక్‌లోకి చొచ్చుకుపోతాయి మరియు అల్ట్రా-లార్జ్-స్కేల్ ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్‌లు, ఫ్లాట్ ప్యానెల్ డిస్‌ప్లే పరికరాలు మరియు సౌర ఘటాలు వంటి ఎలక్ట్రానిక్ పరిశ్రమల ఉత్పత్తికి అనివార్యమైన ముడి పదార్థాలు.

సెమీకండక్టర్ టెక్నాలజీలో, ఫ్లోరిన్-కలిగిన వాయువులు విస్తృతంగా ఉపయోగించబడతాయి. ప్రస్తుతం, గ్లోబల్ ఎలక్ట్రానిక్ గ్యాస్ మార్కెట్‌లో, ఫ్లోరిన్-కలిగిన ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులు మొత్తం 30% వాటాను కలిగి ఉన్నాయి. ఎలక్ట్రానిక్ ఇన్ఫర్మేషన్ మెటీరియల్స్ రంగంలో ప్రత్యేక ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులలో ఫ్లోరిన్-కలిగిన ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులు ముఖ్యమైన భాగం. అవి ప్రధానంగా క్లీనింగ్ ఏజెంట్లు మరియు ఎచింగ్ ఏజెంట్లుగా ఉపయోగించబడతాయి మరియు డోపాంట్లు, ఫిల్మ్-ఫార్మింగ్ మెటీరియల్స్ మొదలైనవిగా కూడా ఉపయోగించవచ్చు. ఈ వ్యాసంలో, సాధారణ ఫ్లోరిన్-కలిగిన వాయువులను అర్థం చేసుకోవడానికి రచయిత మిమ్మల్ని తీసుకెళతారు.

కిందివి సాధారణంగా ఉపయోగించే ఫ్లోరిన్-కలిగిన వాయువులు

నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ (NF3): నిక్షేపాలను శుభ్రపరచడానికి మరియు తొలగించడానికి ఉపయోగించే వాయువు, సాధారణంగా ప్రతిచర్య గదులు మరియు పరికరాల ఉపరితలాలను శుభ్రపరచడానికి ఉపయోగిస్తారు.

సల్ఫర్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (SF6): ఆక్సైడ్ నిక్షేపణ ప్రక్రియలలో మరియు ఇన్సులేటింగ్ మీడియాను నింపడానికి ఇన్సులేటింగ్ గ్యాస్‌గా ఉపయోగించే ఫ్లోరినేటింగ్ ఏజెంట్.

హైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్ (HF): సిలికాన్ ఉపరితలం నుండి ఆక్సైడ్‌లను తొలగించడానికి మరియు సిలికాన్ మరియు ఇతర పదార్థాలను చెక్కడానికి ఒక ఎట్రాక్ట్‌గా ఉపయోగిస్తారు.

నైట్రోజన్ ఫ్లోరైడ్ (NF): సిలికాన్ నైట్రైడ్ (SiN) మరియు అల్యూమినియం నైట్రైడ్ (AlN) వంటి పదార్థాలను చెక్కడానికి ఉపయోగిస్తారు.

ట్రిఫ్లోరోమీథేన్ (CHF3) మరియుటెట్రాఫ్లోరోమీథేన్ (CF4): సిలికాన్ ఫ్లోరైడ్ మరియు అల్యూమినియం ఫ్లోరైడ్ వంటి ఫ్లోరైడ్ పదార్థాలను చెక్కడానికి ఉపయోగిస్తారు.

అయినప్పటికీ, ఫ్లోరిన్-కలిగిన వాయువులు విషపూరితం, తినివేయడం మరియు మంటతో సహా కొన్ని ప్రమాదాలను కలిగి ఉంటాయి.

విషపూరితం

కొన్ని ఫ్లోరిన్-కలిగిన వాయువులు హైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్ (HF) వంటి విషపూరితమైనవి, దీని ఆవిరి చర్మం మరియు శ్వాసనాళానికి చాలా చికాకు కలిగిస్తుంది మరియు మానవ ఆరోగ్యానికి హానికరం.

తినివేయుట

హైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్ మరియు కొన్ని ఫ్లోరైడ్‌లు అత్యంత తినివేయు గుణాన్ని కలిగి ఉంటాయి మరియు చర్మం, కళ్ళు మరియు శ్వాసనాళానికి తీవ్రమైన హాని కలిగిస్తాయి.

జ్వలనశీలత

కొన్ని ఫ్లోరైడ్‌లు మండేవి మరియు గాలిలోని ఆక్సిజన్ లేదా నీటితో చర్య జరిపి తీవ్రమైన వేడిని మరియు విషపూరిత వాయువులను విడుదల చేస్తాయి, ఇవి అగ్ని లేదా పేలుడుకు కారణమవుతాయి.

అధిక పీడన ప్రమాదం

కొన్ని ఫ్లోరినేటెడ్ వాయువులు అధిక పీడనంలో పేలుడుగా ఉంటాయి మరియు ఉపయోగించినప్పుడు మరియు నిల్వ చేసినప్పుడు ప్రత్యేక శ్రద్ధ అవసరం.

పర్యావరణంపై ప్రభావం

ఫ్లోరిన్-కలిగిన వాయువులు అధిక వాతావరణ జీవితకాలం మరియు GWP విలువలను కలిగి ఉంటాయి, ఇవి వాతావరణ ఓజోన్ పొరపై విధ్వంసక ప్రభావాన్ని కలిగి ఉంటాయి మరియు గ్లోబల్ వార్మింగ్ మరియు పర్యావరణ కాలుష్యానికి కారణం కావచ్చు.

ఎలెక్ట్రానిక్స్ వంటి ఉద్భవిస్తున్న రంగాలలో వాయువుల అప్లికేషన్ మరింత లోతుగా కొనసాగుతుంది, పారిశ్రామిక వాయువులకు పెద్ద మొత్తంలో కొత్త డిమాండ్‌ను తెస్తుంది. రాబోయే కొద్ది సంవత్సరాలలో చైనాలోని ప్రధాన భూభాగంలో సెమీకండక్టర్స్ మరియు డిస్ప్లే ప్యానెల్స్ వంటి ప్రధాన ఎలక్ట్రానిక్ భాగాల యొక్క పెద్ద మొత్తంలో కొత్త ఉత్పత్తి సామర్థ్యం, ​​అలాగే ఎలక్ట్రానిక్ రసాయన పదార్థాల దిగుమతి ప్రత్యామ్నాయం కోసం బలమైన డిమాండ్ ఆధారంగా, దేశీయ ఎలక్ట్రానిక్ గ్యాస్ పరిశ్రమ ప్రవేశిస్తుంది. అధిక వృద్ధి రేటు.