టంగ్‌స్టన్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (WF6) ఉపయోగాలు

CVD ప్రక్రియ ద్వారా వేఫర్ ఉపరితలంపై టంగ్‌స్టన్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (WF6) ను నిక్షేపించి, లోహ అనుసంధాన కందకాలను నింపి, పొరల మధ్య లోహ అనుసంధానాన్ని ఏర్పరుస్తారు.

మనం ముందుగా ప్లాస్మా గురించి మాట్లాడుకుందాం. ప్లాస్మా అనేది ప్రధానంగా స్వేచ్ఛా ఎలక్ట్రాన్లు మరియు ఆవేశిత అయాన్లతో కూడిన ఒక రకమైన పదార్థం. ఇది విశ్వంలో విస్తృతంగా ఉంటుంది మరియు దీనిని తరచుగా పదార్థం యొక్క నాల్గవ స్థితిగా పరిగణిస్తారు. దీనిని ప్లాస్మా స్థితి అని, అలాగే "ప్లాస్మా" అని కూడా పిలుస్తారు. ప్లాస్మా అధిక విద్యుత్ వాహకతను కలిగి ఉంటుంది మరియు విద్యుదయస్కాంత క్షేత్రంతో బలమైన సంధాన ప్రభావాన్ని కలిగి ఉంటుంది. ఇది ఎలక్ట్రాన్లు, అయాన్లు, ఫ్రీ రాడికల్స్, తటస్థ కణాలు మరియు ఫోటాన్లతో కూడిన పాక్షికంగా అయనీకరణం చెందిన వాయువు. ప్లాస్మా అనేది భౌతికంగా మరియు రసాయనికంగా చురుకైన కణాలను కలిగి ఉన్న విద్యుత్ పరంగా తటస్థమైన మిశ్రమం.

సరళమైన వివరణ ఏమిటంటే, అధిక శక్తి చర్య కింద, అణువు వాన్ డెర్ వాల్స్ బలం, రసాయన బంధ బలం మరియు కూలంబ్ బలాన్ని అధిగమించి, మొత్తంగా తటస్థ విద్యుత్ రూపాన్ని ప్రదర్శిస్తుంది. అదే సమయంలో, బయటి నుండి అందించబడిన అధిక శక్తి పై మూడు బలాలను అధిగమిస్తుంది. ఎలక్ట్రాన్లు మరియు అయాన్లు స్వేచ్ఛా స్థితిని ప్రదర్శిస్తాయి, దీనిని సెమీకండక్టర్ ఎచింగ్ ప్రక్రియ, CVD ప్రక్రియ, PVD మరియు IMP ప్రక్రియ వంటి అయస్కాంత క్షేత్రం యొక్క మాడ్యులేషన్ కింద కృత్రిమంగా ఉపయోగించవచ్చు.

అధిక శక్తి అంటే ఏమిటి? సిద్ధాంతపరంగా, అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక ఫ్రీక్వెన్సీ RF రెండింటినీ ఉపయోగించవచ్చు. సాధారణంగా చెప్పాలంటే, అధిక ఉష్ణోగ్రతను సాధించడం దాదాపు అసాధ్యం. ఈ ఉష్ణోగ్రత అవసరం చాలా ఎక్కువగా ఉంటుంది మరియు సూర్యుని ఉష్ణోగ్రతకు దగ్గరగా ఉండవచ్చు. ప్రక్రియలో దీనిని సాధించడం ప్రాథమికంగా అసాధ్యం. అందువల్ల, పరిశ్రమ సాధారణంగా దీనిని సాధించడానికి అధిక-ఫ్రీక్వెన్సీ RFని ఉపయోగిస్తుంది. ప్లాస్మా RF 13MHz+ వరకు అధిక ఫ్రీక్వెన్సీని చేరుకోగలదు.

టంగ్‌స్టన్ హెక్సాఫ్లోరైడ్‌ను విద్యుత్ క్షేత్రం చర్య కింద ప్లాస్మాగా మార్చి, ఆపై అయస్కాంత క్షేత్రం ద్వారా ఆవిరి రూపంలో నిక్షేపిస్తారు. W పరమాణువులు శీతాకాలపు బాతు ఈకల వలె గురుత్వాకర్షణ చర్య కింద నేల మీద పడతాయి. నెమ్మదిగా, W పరమాణువులు త్రూ హోల్స్‌లోకి నిక్షేపించబడి, చివరకు లోహ అనుసంధానాలను ఏర్పరచడానికి ఆ త్రూ హోల్స్‌ను పూర్తిగా నింపుతాయి. త్రూ హోల్స్‌లో W పరమాణువులను నిక్షేపించడమే కాకుండా, అవి వేఫర్ ఉపరితలంపై కూడా నిక్షేపించబడతాయా? అవును, ఖచ్చితంగా. సాధారణంగా చెప్పాలంటే, వాటిని తొలగించడానికి మీరు W-CMP ప్రక్రియను ఉపయోగించవచ్చు, దీనినే మనం మెకానికల్ గ్రైండింగ్ ప్రక్రియ అని పిలుస్తాము. ఇది భారీగా మంచు కురిసిన తర్వాత నేలను చీపురుతో ఊడ్చడం లాంటిది. నేలపై ఉన్న మంచు ఊడ్చివేయబడుతుంది, కానీ నేలపై ఉన్న రంధ్రంలోని మంచు మిగిలిపోతుంది. దాదాపు అలాగే ఉంటుంది.