టంగ్స్టన్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (WF6) యొక్క ఉపయోగాలు

టంగ్స్టన్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (డబ్ల్యుఎఫ్ 6) ఒక సివిడి ప్రక్రియ ద్వారా పొర యొక్క ఉపరితలంపై జమ చేయబడుతుంది, మెటల్ ఇంటర్ కనెక్షన్ కందకాలను నింపడం మరియు పొరల మధ్య మెటల్ ఇంటర్ కనెక్షన్ ఏర్పడుతుంది.

మొదట ప్లాస్మా గురించి మాట్లాడుకుందాం. ప్లాస్మా అనేది ప్రధానంగా ఉచిత ఎలక్ట్రాన్లు మరియు చార్జ్డ్ అయాన్లతో కూడిన పదార్థం యొక్క ఒక రూపం. ఇది విశ్వంలో విస్తృతంగా ఉంది మరియు ఇది తరచుగా పదార్థం యొక్క నాల్గవ స్థితిగా పరిగణించబడుతుంది. దీనిని ప్లాస్మా స్టేట్ అని పిలుస్తారు, దీనిని “ప్లాస్మా” అని కూడా పిలుస్తారు. ప్లాస్మా అధిక విద్యుత్ వాహకతను కలిగి ఉంటుంది మరియు విద్యుదయస్కాంత క్షేత్రంతో బలమైన కలపడం ప్రభావాన్ని కలిగి ఉంటుంది. ఇది పాక్షికంగా అయోనైజ్డ్ గ్యాస్, ఇది ఎలక్ట్రాన్లు, అయాన్లు, ఫ్రీ రాడికల్స్, తటస్థ కణాలు మరియు ఫోటాన్లతో కూడి ఉంటుంది. ప్లాస్మా అనేది భౌతికంగా మరియు రసాయనికంగా చురుకైన కణాలను కలిగి ఉన్న విద్యుత్ తటస్థ మిశ్రమం.

సూటిగా వివరణ ఏమిటంటే, అధిక శక్తి యొక్క చర్యలో, అణువు వాన్ డెర్ వాల్స్ ఫోర్స్, కెమికల్ బాండ్ ఫోర్స్ మరియు కూలంబ్ ఫోర్స్‌ను అధిగమిస్తుంది మరియు మొత్తం తటస్థ విద్యుత్తును ప్రదర్శిస్తుంది. అదే సమయంలో, బయటి ద్వారా ఇవ్వబడిన అధిక శక్తి పై మూడు శక్తులను అధిగమిస్తుంది. ఫంక్షన్, ఎలక్ట్రాన్లు మరియు అయాన్లు ఉచిత స్థితిని ప్రదర్శిస్తాయి, వీటిని సెమీకండక్టర్ ఎచింగ్ ప్రాసెస్, సివిడి ప్రాసెస్, పివిడి మరియు ఇంప్ ప్రాసెస్ వంటి అయస్కాంత క్షేత్రం యొక్క మాడ్యులేషన్ కింద కృత్రిమంగా ఉపయోగించవచ్చు.

అధిక శక్తి అంటే ఏమిటి? సిద్ధాంతంలో, అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక పౌన frequency పున్యం RF రెండింటినీ ఉపయోగించవచ్చు. సాధారణంగా చెప్పాలంటే, అధిక ఉష్ణోగ్రత సాధించడం దాదాపు అసాధ్యం. ఈ ఉష్ణోగ్రత అవసరం చాలా ఎక్కువ మరియు సూర్యుని ఉష్ణోగ్రతకు దగ్గరగా ఉండవచ్చు. ఈ ప్రక్రియలో సాధించడం ప్రాథమికంగా అసాధ్యం. అందువల్ల, పరిశ్రమ సాధారణంగా దానిని సాధించడానికి అధిక-ఫ్రీక్వెన్సీ RF ని ఉపయోగిస్తుంది. ప్లాస్మా RF 13MHz+వరకు చేరుకోవచ్చు.

టంగ్స్టన్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ విద్యుత్ క్షేత్రం యొక్క చర్య కింద ప్లాస్మైజ్ చేయబడింది, ఆపై అయస్కాంత క్షేత్రం ద్వారా ఆవిరి-డిపాజిట్ చేయబడింది. W అణువులు శీతాకాలపు గూస్ ఈకలతో సమానంగా ఉంటాయి మరియు గురుత్వాకర్షణ చర్యలో నేలమీద పడతాయి. నెమ్మదిగా, W అణువులను రంధ్రాల ద్వారా జమ చేస్తారు, చివరకు రంధ్రాల ద్వారా పూర్తిగా నింపి లోహ ఇంటర్‌కనెక్షన్లను ఏర్పరుస్తాయి. రంధ్రాల ద్వారా W అణువులను జమ చేయడంతో పాటు, అవి పొర యొక్క ఉపరితలంపై కూడా జమ అవుతాయా? అవును, ఖచ్చితంగా. సాధారణంగా చెప్పాలంటే, మీరు W-CMP ప్రక్రియను ఉపయోగించవచ్చు, ఇది మేము తొలగించడానికి మెకానికల్ గ్రౌండింగ్ ప్రక్రియను పిలుస్తాము. ఇది భారీ మంచు తర్వాత నేల తుడుచుకోవడానికి చీపురును ఉపయోగించడం వంటిది. నేలమీద మంచు తుడిచివేయబడుతుంది, కాని నేలమీద ఉన్న రంధ్రంలో మంచు ఉంటుంది. డౌన్, సుమారుగా అదే.