టంగ్స్టన్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (WF6) CVD ప్రక్రియ ద్వారా పొర యొక్క ఉపరితలంపై నిక్షిప్తం చేయబడుతుంది, మెటల్ ఇంటర్‌కనెక్ట్ ట్రెంచ్‌లను పూరించడం మరియు పొరల మధ్య మెటల్ ఇంటర్‌కనెక్ట్‌ను ఏర్పరుస్తుంది.
ముందుగా ప్లాస్మా గురించి మాట్లాడుకుందాం. ప్లాస్మా అనేది ప్రధానంగా ఉచిత ఎలక్ట్రాన్లు మరియు చార్జ్డ్ అయాన్లతో కూడిన పదార్థం యొక్క ఒక రూపం. ఇది విశ్వంలో విస్తృతంగా ఉనికిలో ఉంది మరియు తరచుగా పదార్థం యొక్క నాల్గవ స్థితిగా పరిగణించబడుతుంది. దీనిని ప్లాస్మా స్థితి అంటారు, దీనిని "ప్లాస్మా" అని కూడా అంటారు. ప్లాస్మా అధిక విద్యుత్ వాహకతను కలిగి ఉంటుంది మరియు విద్యుదయస్కాంత క్షేత్రంతో బలమైన కలపడం ప్రభావాన్ని కలిగి ఉంటుంది. ఇది ఎలక్ట్రాన్లు, అయాన్లు, ఫ్రీ రాడికల్స్, న్యూట్రల్ పార్టికల్స్ మరియు ఫోటాన్‌లతో కూడిన పాక్షికంగా అయనీకరణం చేయబడిన వాయువు. ప్లాస్మా భౌతికంగా మరియు రసాయనికంగా క్రియాశీలక కణాలను కలిగి ఉన్న విద్యుత్ తటస్థ మిశ్రమం.
సూటిగా వివరణ ఏమిటంటే, అధిక శక్తి యొక్క చర్యలో, అణువు వాన్ డెర్ వాల్స్ ఫోర్స్, కెమికల్ బాండ్ ఫోర్స్ మరియు కూలంబ్ ఫోర్స్‌ను అధిగమిస్తుంది మరియు మొత్తంగా తటస్థ విద్యుత్ రూపాన్ని ప్రదర్శిస్తుంది. అదే సమయంలో, బయటి నుండి అందించబడిన అధిక శక్తి పైన పేర్కొన్న మూడు శక్తులను అధిగమిస్తుంది. ఫంక్షన్, ఎలక్ట్రాన్లు మరియు అయాన్లు ఒక ఉచిత స్థితిని ప్రదర్శిస్తాయి, ఇది సెమీకండక్టర్ ఎచింగ్ ప్రక్రియ, CVD మరియు IMP ప్రక్రియ వంటి అయస్కాంత క్షేత్రం యొక్క మాడ్యులేషన్ కింద కృత్రిమంగా ఉపయోగించబడుతుంది.
అధిక శక్తి అంటే ఏమిటి? సిద్ధాంతంలో, అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక ఫ్రీక్వెన్సీ RF రెండింటినీ ఉపయోగించవచ్చు. సాధారణంగా చెప్పాలంటే, అధిక ఉష్ణోగ్రత సాధించడం దాదాపు అసాధ్యం. ఈ ఉష్ణోగ్రత అవసరం చాలా ఎక్కువగా ఉంది మరియు సూర్యుని ఉష్ణోగ్రతకు దగ్గరగా ఉండవచ్చు. ప్రక్రియలో సాధించడం ప్రాథమికంగా అసాధ్యం. అందువల్ల, పరిశ్రమ సాధారణంగా దానిని సాధించడానికి అధిక-ఫ్రీక్వెన్సీ RFని ఉపయోగిస్తుంది. ప్లాస్మా RF 13MHz+ వరకు చేరుకోగలదు.
టంగ్స్టన్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ ఒక విద్యుత్ క్షేత్రం యొక్క చర్యలో ప్లాస్మైజ్ చేయబడుతుంది, ఆపై అయస్కాంత క్షేత్రం ద్వారా ఆవిరి-నిక్షేపించబడుతుంది. W అణువులు శీతాకాలపు గూస్ ఈకలను పోలి ఉంటాయి మరియు గురుత్వాకర్షణ చర్యలో నేలపై పడతాయి. నెమ్మదిగా, W పరమాణువులు రంధ్రాల ద్వారా జమ చేయబడతాయి మరియు చివరకు రంధ్రాల ద్వారా పూర్తిగా నింపబడి మెటల్ ఇంటర్‌కనెక్షన్‌లను ఏర్పరుస్తాయి. రంధ్రాల ద్వారా డబ్ల్యు అణువులను నిక్షిప్తం చేయడంతో పాటు, అవి వేఫర్ ఉపరితలంపై కూడా నిక్షిప్తం చేయబడతాయా? అవును, ఖచ్చితంగా. సాధారణంగా చెప్పాలంటే, మీరు W-CMP ప్రక్రియను ఉపయోగించవచ్చు, దీనిని మేము తొలగించడానికి మెకానికల్ గ్రౌండింగ్ ప్రక్రియ అని పిలుస్తాము. ఇది భారీ మంచు తర్వాత నేలను తుడుచుకోవడానికి చీపురును ఉపయోగించడం లాంటిది. నేలపై మంచు తుడిచిపెట్టుకుపోతుంది, కానీ నేలపై రంధ్రంలో మంచు అలాగే ఉంటుంది. డౌన్, ఇంచుమించు అదే.
పోస్ట్ సమయం: డిసెంబర్-24-2021
