అత్యధికంగా ఉపయోగించే ఎలక్ట్రానిక్ ప్రత్యేక వాయువు – నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్

సాధారణ ఫ్లోరిన్ కలిగిన ప్రత్యేక ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులలో ఇవి ఉన్నాయిసల్ఫర్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (SF6), టంగ్‌స్టన్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (WF6),కార్బన్ టెట్రాఫ్లోరైడ్ (CF4), ట్రైఫ్లోరోమీథేన్ (CHF3), నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ (NF3), హెక్సాఫ్లోరోఈథేన్ (C2F6) మరియు ఆక్టాఫ్లోరోప్రొపేన్ (C3F8).

నానోటెక్నాలజీ అభివృద్ధి మరియు ఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమ యొక్క భారీ స్థాయి అభివృద్ధితో, దీనికి డిమాండ్ రోజురోజుకు పెరుగుతుంది. ప్యానెళ్లు మరియు సెమీకండక్టర్ల ఉత్పత్తి మరియు ప్రాసెసింగ్‌లో అత్యంత అవసరమైన మరియు అత్యధికంగా ఉపయోగించే ప్రత్యేక ఎలక్ట్రానిక్ వాయువు అయిన నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్‌కు విస్తృత మార్కెట్ అవకాశం ఉంది.

ఒక రకమైన ఫ్లోరిన్ కలిగిన ప్రత్యేక వాయువుగా,నత్రజని ట్రైఫ్లోరైడ్ (NF3)నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ అత్యధిక మార్కెట్ సామర్థ్యం కలిగిన ఎలక్ట్రానిక్ ప్రత్యేక వాయు ఉత్పత్తి. ఇది గది ఉష్ణోగ్రత వద్ద రసాయనికంగా జడంగా ఉంటుంది, అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద ఆక్సిజన్ కంటే ఎక్కువ చురుకుగా ఉంటుంది, ఫ్లోరిన్ కంటే ఎక్కువ స్థిరంగా ఉంటుంది మరియు నిర్వహించడానికి సులభంగా ఉంటుంది. నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్‌ను ప్రధానంగా ప్లాస్మా ఎచింగ్ వాయువుగా మరియు రియాక్షన్ ఛాంబర్ క్లీనింగ్ ఏజెంట్‌గా ఉపయోగిస్తారు. ఇది సెమీకండక్టర్ చిప్‌లు, ఫ్లాట్ ప్యానెల్ డిస్‌ప్లేలు, ఆప్టికల్ ఫైబర్‌లు, ఫోటోవోల్టాయిక్ సెల్‌లు మొదలైన వాటి తయారీ రంగాలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.

ఇతర ఫ్లోరిన్ కలిగిన ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులతో పోలిస్తే,నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ఇది వేగవంతమైన ప్రతిచర్య మరియు అధిక సామర్థ్యం వంటి ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది. ముఖ్యంగా సిలికాన్ నైట్రైడ్ వంటి సిలికాన్ కలిగిన పదార్థాల ఎచింగ్‌లో, ఇది అధిక ఎచింగ్ రేటు మరియు సెలెక్టివిటీని కలిగి ఉండి, ఎచింగ్ చేయబడిన వస్తువు ఉపరితలంపై ఎటువంటి అవశేషాలను వదలదు. ఇది చాలా మంచి క్లీనింగ్ ఏజెంట్ కూడా మరియు ఉపరితలానికి ఎటువంటి కాలుష్యాన్ని కలిగించదు, ఇది ప్రాసెసింగ్ ప్రక్రియ యొక్క అవసరాలను తీర్చగలదు.