అత్యధికంగా ఉపయోగించే ఎలక్ట్రానిక్ ప్రత్యేక వాయువు - నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్

సాధారణ ఫ్లోరిన్ కలిగిన ప్రత్యేక ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులుసల్ఫర్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (SF6), టంగ్‌స్టన్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (WF6),కార్బన్ టెట్రాఫ్లోరైడ్ (CF4), ట్రైఫ్లోరోమీథేన్ (CHF3), నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ (NF3), హెక్సాఫ్లోరోమీథేన్ (C2F6) మరియు ఆక్టాఫ్లోరోప్రొపేన్ (C3F8).

నానోటెక్నాలజీ అభివృద్ధి మరియు ఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమ యొక్క పెద్ద ఎత్తున అభివృద్ధితో, దాని డిమాండ్ రోజురోజుకూ పెరుగుతుంది. ప్యానెల్లు మరియు సెమీకండక్టర్ల ఉత్పత్తి మరియు ప్రాసెసింగ్‌లో అనివార్యమైన మరియు అతిపెద్ద-ఉపయోగించే ప్రత్యేక ఎలక్ట్రానిక్ వాయువుగా నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ విస్తృత మార్కెట్ స్థలాన్ని కలిగి ఉంది.

ఫ్లోరిన్ కలిగిన ప్రత్యేక వాయువు రకంగా,నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ (NF3)అతిపెద్ద మార్కెట్ సామర్థ్యం కలిగిన ఎలక్ట్రానిక్ ప్రత్యేక వాయువు ఉత్పత్తి. ఇది గది ఉష్ణోగ్రత వద్ద రసాయనికంగా జడత్వం కలిగి ఉంటుంది, అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద ఆక్సిజన్ కంటే ఎక్కువ చురుకుగా ఉంటుంది, ఫ్లోరిన్ కంటే స్థిరంగా ఉంటుంది మరియు నిర్వహించడానికి సులభం. నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ ప్రధానంగా ప్లాస్మా ఎచింగ్ గ్యాస్ మరియు రియాక్షన్ చాంబర్ క్లీనింగ్ ఏజెంట్‌గా ఉపయోగించబడుతుంది మరియు సెమీకండక్టర్ చిప్స్, ఫ్లాట్ ప్యానెల్ డిస్ప్లేలు, ఆప్టికల్ ఫైబర్స్, ఫోటోవోల్టాయిక్ సెల్స్ మొదలైన వాటి తయారీ రంగాలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.

ఇతర ఫ్లోరిన్ కలిగిన ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులతో పోలిస్తే,నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్వేగవంతమైన ప్రతిచర్య మరియు అధిక సామర్థ్యం యొక్క ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది. ముఖ్యంగా సిలికాన్ నైట్రైడ్ వంటి సిలికాన్-కలిగిన పదార్థాలను చెక్కడంలో, ఇది అధిక ఎచింగ్ రేటు మరియు ఎంపికను కలిగి ఉంటుంది, చెక్కబడిన వస్తువు యొక్క ఉపరితలంపై ఎటువంటి అవశేషాలను వదిలివేయదు. ఇది చాలా మంచి శుభ్రపరిచే ఏజెంట్ మరియు ఉపరితలంపై ఎటువంటి కాలుష్యం ఉండదు, ఇది ప్రాసెసింగ్ ప్రక్రియ యొక్క అవసరాలను తీర్చగలదు.