ఎక్కువగా ఉపయోగించే ఎలక్ట్రానిక్ ప్రత్యేక వాయువు - నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్

సాధారణ ఫ్లోరిన్-కలిగిన ప్రత్యేక ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులు ఉన్నాయిసల్ఫర్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (SF6), టంగ్‌స్టన్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (WF6),కార్బన్ టెట్రాఫ్లోరైడ్ (CF4), ట్రిఫ్లోరోమీథేన్ (CHF3), నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ (NF3), హెక్సాఫ్లోరోఈథేన్ (C2F6) మరియు ఆక్టాఫ్లోరోప్రోపేన్ (C3F8).

నానోటెక్నాలజీ అభివృద్ధి మరియు ఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమ పెద్ద ఎత్తున అభివృద్ధి చెందడంతో, దాని డిమాండ్ రోజురోజుకు పెరుగుతుంది. నత్రజని ట్రైఫ్లోరైడ్, ప్యానెల్లు మరియు సెమీకండక్టర్ల ఉత్పత్తి మరియు ప్రాసెసింగ్‌లో అనివార్యమైన మరియు అత్యధికంగా ఉపయోగించే ప్రత్యేక ఎలక్ట్రానిక్ గ్యాస్‌గా విస్తృత మార్కెట్ స్థలాన్ని కలిగి ఉంది.

ఫ్లోరిన్-కలిగిన ప్రత్యేక వాయువు రకంగా,నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ (NF3)అతిపెద్ద మార్కెట్ సామర్థ్యంతో ఎలక్ట్రానిక్ ప్రత్యేక గ్యాస్ ఉత్పత్తి. ఇది గది ఉష్ణోగ్రత వద్ద రసాయనికంగా జడమైనది, అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద ఆక్సిజన్ కంటే చురుకుగా ఉంటుంది, ఫ్లోరిన్ కంటే స్థిరంగా ఉంటుంది మరియు సులభంగా నిర్వహించవచ్చు. నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ ప్రధానంగా ప్లాస్మా ఎచింగ్ గ్యాస్ మరియు రియాక్షన్ ఛాంబర్ క్లీనింగ్ ఏజెంట్‌గా ఉపయోగించబడుతుంది మరియు సెమీకండక్టర్ చిప్స్, ఫ్లాట్ ప్యానెల్ డిస్‌ప్లేలు, ఆప్టికల్ ఫైబర్స్, ఫోటోవోల్టాయిక్ సెల్స్ మొదలైన వాటి తయారీ రంగాలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.

ఇతర ఫ్లోరిన్ కలిగిన ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులతో పోలిస్తే,నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్వేగవంతమైన ప్రతిచర్య మరియు అధిక సామర్థ్యం యొక్క ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది. ముఖ్యంగా సిలికాన్ నైట్రైడ్ వంటి సిలికాన్-కలిగిన పదార్థాల చెక్కడంలో, ఇది అధిక ఎచింగ్ రేట్ మరియు సెలెక్టివిటీని కలిగి ఉంటుంది, చెక్కిన వస్తువు యొక్క ఉపరితలంపై ఎటువంటి అవశేషాలు ఉండవు. ఇది చాలా మంచి శుభ్రపరిచే ఏజెంట్ మరియు ఉపరితలంపై ఎటువంటి కాలుష్యం ఉండదు, ఇది ప్రాసెసింగ్ ప్రక్రియ యొక్క అవసరాలను తీర్చగలదు.