ఎక్కువగా ఉపయోగించే ఎలక్ట్రానిక్ స్పెషల్ గ్యాస్ - నత్రజని ట్రిఫ్లోరైడ్

సాధారణ ఫ్లోరిన్ కలిగిన ప్రత్యేక ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులు ఉన్నాయిసల్ఫర్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (SF6), టంగ్స్టన్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (wf6),కార్బన్ టెట్రాఫ్లోరైడ్ (సిఎఫ్ 4).

నానోటెక్నాలజీ అభివృద్ధి మరియు ఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమ యొక్క పెద్ద ఎత్తున అభివృద్ధితో, దాని డిమాండ్ రోజు రోజుకు పెరుగుతుంది. నత్రజని ట్రిఫ్లోరైడ్, ప్యానెల్లు మరియు సెమీకండక్టర్ల ఉత్పత్తి మరియు ప్రాసెసింగ్‌లో అనివార్యమైన మరియు అతిపెద్ద ప్రత్యేకమైన ఎలక్ట్రానిక్ వాయువుగా, విస్తృత మార్కెట్ స్థలాన్ని కలిగి ఉంది.

ఒక రకమైన ఫ్లోరిన్ కలిగిన ప్రత్యేక వాయువుగా,నత్రజని యొక్క నఠీ జఠరికఅతిపెద్ద మార్కెట్ సామర్థ్యంతో ఎలక్ట్రానిక్ స్పెషల్ గ్యాస్ ఉత్పత్తి. ఇది గది ఉష్ణోగ్రత వద్ద రసాయనికంగా జడంగా ఉంటుంది, అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద ఆక్సిజన్ కంటే చురుకుగా ఉంటుంది, ఫ్లోరిన్ కంటే ఎక్కువ స్థిరంగా ఉంటుంది మరియు నిర్వహించడం సులభం. నత్రజని ట్రిఫ్లోరైడ్‌ను ప్రధానంగా ప్లాస్మా ఎచింగ్ గ్యాస్ మరియు రియాక్షన్ ఛాంబర్ క్లీనింగ్ ఏజెంట్‌గా ఉపయోగిస్తారు మరియు ఇది సెమీకండక్టర్ చిప్స్, ఫ్లాట్ ప్యానెల్ డిస్ప్లేలు, ఆప్టికల్ ఫైబర్స్, ఫోటోవోల్టాయిక్ కణాల తయారీ క్షేత్రాలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.

ఇతర ఫ్లోరిన్ కలిగిన ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులతో పోలిస్తే,నత్రజని ట్రిఫ్లోరైడ్వేగవంతమైన ప్రతిచర్య మరియు అధిక సామర్థ్యం యొక్క ప్రయోజనాలు ఉన్నాయి. ముఖ్యంగా సిలికాన్ నైట్రైడ్ వంటి సిలికాన్ కలిగిన పదార్థాల చెక్కడంలో, ఇది అధిక ఎచింగ్ రేటు మరియు సెలెక్టివిటీని కలిగి ఉంది, చెక్కబడిన వస్తువు యొక్క ఉపరితలంపై అవశేషాలు లేవు. ఇది చాలా మంచి శుభ్రపరిచే ఏజెంట్ మరియు ఉపరితలంపై కాలుష్యం లేదు, ఇది ప్రాసెసింగ్ ప్రక్రియ యొక్క అవసరాలను తీర్చగలదు.