అత్యధిక పరిమాణంలో ఎలక్ట్రానిక్ ప్రత్యేక వాయువు – నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ NF3

మన దేశ సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ మరియు ప్యానెల్ పరిశ్రమ ఉన్నత స్థాయి శ్రేయస్సును కొనసాగిస్తున్నాయి. ప్యానెళ్లు మరియు సెమీకండక్టర్ల ఉత్పత్తి మరియు ప్రాసెసింగ్‌లో అనివార్యమైన మరియు అత్యధిక పరిమాణంలో వినియోగించే ప్రత్యేక ఎలక్ట్రానిక్ వాయువు అయిన నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్‌కు విస్తృత మార్కెట్ అవకాశం ఉంది.

సాధారణంగా ఉపయోగించే ఫ్లోరిన్ కలిగిన ప్రత్యేక ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులలో ఇవి ఉన్నాయిసల్ఫర్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (SF6), టంగ్‌స్టన్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (WF6),కార్బన్ టెట్రాఫ్లోరైడ్ (CF4)ట్రైఫ్లోరోమీథేన్ (CHF3), నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ (NF3), హెక్సాఫ్లోరోఈథేన్ (C2F6) మరియు ఆక్టాఫ్లోరోప్రొపేన్ (C3F8). నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ (NF3) ప్రధానంగా హైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్-ఫ్లోరైడ్ గ్యాస్ అధిక-శక్తి రసాయన లేజర్‌లకు ఫ్లోరిన్ మూలంగా ఉపయోగించబడుతుంది. H2-O2 మరియు F2 మధ్య జరిగే చర్య శక్తి యొక్క ప్రభావవంతమైన భాగాన్ని (సుమారు 25%) లేజర్ వికిరణం ద్వారా విడుదల చేయవచ్చు, కాబట్టి రసాయన లేజర్‌లలో HF-OF లేజర్‌లు అత్యంత ఆశాజనకమైనవి.

నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ అనేది మైక్రోఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమలో ఒక అద్భుతమైన ప్లాస్మా ఎచింగ్ వాయువు. సిలికాన్ మరియు సిలికాన్ నైట్రైడ్‌ను ఎచింగ్ చేయడానికి, కార్బన్ టెట్రాఫ్లోరైడ్ మరియు కార్బన్ టెట్రాఫ్లోరైడ్-ఆక్సిజన్ మిశ్రమం కంటే నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్‌కు అధిక ఎచింగ్ రేటు మరియు సెలెక్టివిటీ ఉన్నాయి, మరియు ఇది ఉపరితలాన్ని కలుషితం చేయదు. ముఖ్యంగా 1.5um కంటే తక్కువ మందం ఉన్న ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ పదార్థాలను ఎచింగ్ చేయడంలో, నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ చాలా అద్భుతమైన ఎచింగ్ రేటు మరియు సెలెక్టివిటీని కలిగి ఉంటుంది, ఎచింగ్ చేయబడిన వస్తువు ఉపరితలంపై ఎటువంటి అవశేషాలను వదలదు, మరియు ఇది చాలా మంచి క్లీనింగ్ ఏజెంట్ కూడా. నానోటెక్నాలజీ అభివృద్ధి మరియు ఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమ యొక్క భారీ-స్థాయి అభివృద్ధితో, దీనికి డిమాండ్ రోజురోజుకు పెరుగుతుంది.

ఫ్లోరిన్‌ను కలిగి ఉండే ఒక రకమైన ప్రత్యేక వాయువుగా, నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ (NF3) మార్కెట్లో అతిపెద్ద ఎలక్ట్రానిక్ ప్రత్యేక వాయు ఉత్పత్తి. ఇది గది ఉష్ణోగ్రత వద్ద రసాయనికంగా జడమైనది, ఆక్సిజన్ కంటే ఎక్కువ చురుకైనది, ఫ్లోరిన్ కంటే ఎక్కువ స్థిరమైనది మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద నిర్వహించడానికి సులభమైనది.

నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్‌ను ప్రధానంగా ప్లాస్మా ఎచింగ్ గ్యాస్‌గా మరియు రియాక్షన్ ఛాంబర్ క్లీనింగ్ ఏజెంట్‌గా ఉపయోగిస్తారు. ఇది సెమీకండక్టర్ చిప్‌లు, ఫ్లాట్ ప్యానెల్ డిస్‌ప్లేలు, ఆప్టికల్ ఫైబర్‌లు, ఫోటోవోల్టాయిక్ సెల్‌లు మొదలైన తయారీ రంగాలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.

ఇతర ఫ్లోరిన్-కలిగిన ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులతో పోలిస్తే, నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ వేగవంతమైన చర్య మరియు అధిక సామర్థ్యం వంటి ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది. ముఖ్యంగా సిలికాన్ నైట్రైడ్ వంటి సిలికాన్-కలిగిన పదార్థాల ఎచింగ్‌లో, ఇది అధిక ఎచింగ్ రేటు మరియు సెలెక్టివిటీని కలిగి ఉండి, ఎచింగ్ చేయబడిన వస్తువు ఉపరితలంపై ఎటువంటి అవశేషాలను వదలదు. ఇది చాలా మంచి క్లీనింగ్ ఏజెంట్ కూడా, మరియు ఇది ఉపరితలాన్ని కలుషితం చేయదు మరియు ప్రాసెసింగ్ ప్రక్రియ యొక్క అవసరాలను తీర్చగలదు.