మన దేశంలోని సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ మరియు ప్యానెల్ పరిశ్రమ అధిక స్థాయి శ్రేయస్సును కొనసాగిస్తున్నాయి. ప్యానెల్లు మరియు సెమీకండక్టర్ల ఉత్పత్తి మరియు ప్రాసెసింగ్‌లో ఒక అనివార్యమైన మరియు అతిపెద్ద-పరిమాణ ప్రత్యేక ఎలక్ట్రానిక్ వాయువుగా నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ విస్తృత మార్కెట్ స్థలాన్ని కలిగి ఉంది.
సాధారణంగా ఉపయోగించే ఫ్లోరిన్ కలిగిన ప్రత్యేక ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులుసల్ఫర్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (SF6), టంగ్‌స్టన్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (WF6),కార్బన్ టెట్రాఫ్లోరైడ్ (CF4), ట్రైఫ్లోరోమీథేన్ (CHF3), నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ (NF3), హెక్సాఫ్లోరోమీథేన్ (C2F6) మరియు ఆక్టాఫ్లోరోప్రొపేన్ (C3F8). నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ (NF3) ప్రధానంగా హైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్-ఫ్లోరైడ్ వాయువు అధిక-శక్తి రసాయన లేజర్‌లకు ఫ్లోరిన్ మూలంగా ఉపయోగించబడుతుంది. H2-O2 మరియు F2 మధ్య ప్రతిచర్య శక్తి యొక్క ప్రభావవంతమైన భాగం (సుమారు 25%) లేజర్ రేడియేషన్ ద్వారా విడుదల చేయబడుతుంది, కాబట్టి HF-OF లేజర్‌లు రసాయన లేజర్‌లలో అత్యంత ఆశాజనకమైన లేజర్‌లు.
మైక్రోఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమలో నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ ఒక అద్భుతమైన ప్లాస్మా ఎచింగ్ వాయువు. సిలికాన్ మరియు సిలికాన్ నైట్రైడ్‌ను ఎచింగ్ చేయడానికి, నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ కార్బన్ టెట్రాఫ్లోరైడ్ మరియు కార్బన్ టెట్రాఫ్లోరైడ్ మరియు ఆక్సిజన్ మిశ్రమం కంటే ఎక్కువ ఎచింగ్ రేటు మరియు ఎంపికను కలిగి ఉంటుంది మరియు ఉపరితలంపై ఎటువంటి కాలుష్యాన్ని కలిగి ఉండదు. ముఖ్యంగా 1.5um కంటే తక్కువ మందం కలిగిన ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ పదార్థాల ఎచింగ్‌లో, నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ చాలా అద్భుతమైన ఎచింగ్ రేటు మరియు ఎంపికను కలిగి ఉంటుంది, ఎచింగ్ చేయబడిన వస్తువు యొక్క ఉపరితలంపై ఎటువంటి అవశేషాలను వదిలివేయదు మరియు ఇది చాలా మంచి శుభ్రపరిచే ఏజెంట్ కూడా. నానోటెక్నాలజీ అభివృద్ధి మరియు ఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమ యొక్క పెద్ద-స్థాయి అభివృద్ధితో, దాని డిమాండ్ రోజురోజుకూ పెరుగుతుంది.
ఫ్లోరిన్ కలిగిన ప్రత్యేక వాయువు రకంగా, నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ (NF3) మార్కెట్లో అతిపెద్ద ఎలక్ట్రానిక్ ప్రత్యేక వాయువు ఉత్పత్తి. ఇది గది ఉష్ణోగ్రత వద్ద రసాయనికంగా జడమైనది, ఆక్సిజన్ కంటే ఎక్కువ చురుకుగా ఉంటుంది, ఫ్లోరిన్ కంటే స్థిరంగా ఉంటుంది మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద నిర్వహించడం సులభం.
నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ ప్రధానంగా ప్లాస్మా ఎచింగ్ గ్యాస్ మరియు రియాక్షన్ చాంబర్ క్లీనింగ్ ఏజెంట్‌గా ఉపయోగించబడుతుంది, ఇది సెమీకండక్టర్ చిప్స్, ఫ్లాట్ ప్యానెల్ డిస్ప్లేలు, ఆప్టికల్ ఫైబర్స్, ఫోటోవోల్టాయిక్ సెల్స్ మొదలైన తయారీ రంగాలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
ఇతర ఫ్లోరిన్ కలిగిన ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులతో పోలిస్తే, నైట్రోజన్ ట్రైఫ్లోరైడ్ వేగవంతమైన ప్రతిచర్య మరియు అధిక సామర్థ్యం యొక్క ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది, ముఖ్యంగా సిలికాన్ నైట్రైడ్ వంటి సిలికాన్ కలిగిన పదార్థాల ఎచింగ్‌లో, ఇది అధిక ఎచింగ్ రేటు మరియు ఎంపికను కలిగి ఉంటుంది, ఎచింగ్ చేయబడిన వస్తువు యొక్క ఉపరితలంపై ఎటువంటి అవశేషాలను వదిలివేయదు మరియు ఇది చాలా మంచి శుభ్రపరిచే ఏజెంట్, మరియు ఇది ఉపరితలానికి కాలుష్యం కలిగించదు మరియు ప్రాసెసింగ్ ప్రక్రియ యొక్క అవసరాలను తీర్చగలదు.
పోస్ట్ సమయం: డిసెంబర్-26-2024
