ఎలక్ట్రానిక్ స్పెషల్ గ్యాస్ యొక్క అతిపెద్ద మొత్తం - నత్రజని ట్రిఫ్లోరైడ్ NF3

మన దేశం యొక్క సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ మరియు ప్యానెల్ పరిశ్రమ అధిక స్థాయి శ్రేయస్సును కలిగి ఉన్నాయి. నత్రజని ట్రిఫ్లోరైడ్, ప్యానెల్లు మరియు సెమీకండక్టర్ల ఉత్పత్తి మరియు ప్రాసెసింగ్‌లో అనివార్యమైన మరియు అతిపెద్ద-వాల్యూమ్ ప్రత్యేక ఎలక్ట్రానిక్ వాయువుగా, విస్తృత మార్కెట్ స్థలాన్ని కలిగి ఉంది.

సాధారణంగా ఉపయోగించే ఫ్లోరిన్ కలిగిన ప్రత్యేక ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులు ఉన్నాయిసల్ఫర్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (SF6), టంగ్స్టన్ హెక్సాఫ్లోరైడ్ (wf6),కార్బన్ టెట్రాఫ్లోరైడ్ (సిఎఫ్ 4). నత్రజని ట్రిఫ్లోరైడ్ (NF3) ను ప్రధానంగా హైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్-ఫ్లోరైడ్ గ్యాస్ హై-ఎనర్జీ కెమికల్ లేజర్లకు ఫ్లోరిన్ వనరుగా ఉపయోగిస్తారు. H2-O2 మరియు F2 మధ్య ప్రతిచర్య శక్తి యొక్క ప్రభావవంతమైన భాగాన్ని (సుమారు 25%) లేజర్ రేడియేషన్ ద్వారా విడుదల చేయవచ్చు, కాబట్టి రసాయన లేజర్‌లలో HF-OF లేజర్‌లు చాలా మంచి లేజర్‌లు.

నత్రజని ట్రిఫ్లోరైడ్ మైక్రోఎలెక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమలో అద్భుతమైన ప్లాస్మా ఎచింగ్ వాయువు. సిలికాన్ మరియు సిలికాన్ నైట్రైడ్‌ను చెక్కడం కోసం, నత్రజని ట్రిఫ్లోరైడ్ కార్బన్ టెట్రాఫ్లోరైడ్ మరియు కార్బన్ టెట్రాఫ్లోరైడ్ మరియు ఆక్సిజన్ మిశ్రమం కంటే ఎక్కువ ఎచింగ్ రేటు మరియు సెలెక్టివిటీని కలిగి ఉంది మరియు ఉపరితలంపై కాలుష్యం లేదు. ముఖ్యంగా 1.5um కన్నా తక్కువ మందంతో ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ పదార్థాల ఎచింగ్‌లో, నత్రజని ట్రిఫ్లోరైడ్ చాలా అద్భుతమైన ఎచింగ్ రేటు మరియు సెలెక్టివిటీని కలిగి ఉంది, ఎచెడ్ ఆబ్జెక్ట్ యొక్క ఉపరితలంపై అవశేషాలు లేవు మరియు ఇది చాలా మంచి శుభ్రపరిచే ఏజెంట్. నానోటెక్నాలజీ అభివృద్ధి మరియు ఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమ యొక్క పెద్ద ఎత్తున అభివృద్ధితో, దాని డిమాండ్ రోజు రోజుకు పెరుగుతుంది.

ఒక రకమైన ఫ్లోరిన్ కలిగిన ప్రత్యేక వాయువుగా, నత్రజని ట్రిఫ్లోరైడ్ (NF3) మార్కెట్లో అతిపెద్ద ఎలక్ట్రానిక్ స్పెషల్ గ్యాస్ ఉత్పత్తి. ఇది గది ఉష్ణోగ్రత వద్ద రసాయనికంగా జడమైనది, ఆక్సిజన్ కంటే చురుకుగా ఉంటుంది, ఫ్లోరిన్ కంటే స్థిరంగా ఉంటుంది మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద నిర్వహించడం సులభం.

నత్రజని ట్రిఫ్లోరైడ్‌ను ప్రధానంగా ప్లాస్మా ఎచింగ్ గ్యాస్ మరియు రియాక్షన్ ఛాంబర్ క్లీనింగ్ ఏజెంట్‌గా ఉపయోగిస్తారు, ఇది సెమీకండక్టర్ చిప్స్, ఫ్లాట్ ప్యానెల్ డిస్ప్లేలు, ఆప్టికల్ ఫైబర్స్, ఫోటోవోల్టాయిక్ కణాలు వంటి తయారీ రంగాలకు అనువైనది.

ఇతర ఫ్లోరిన్-కలిగిన ఎలక్ట్రానిక్ వాయువులతో పోలిస్తే, నత్రజని ట్రిఫ్లోరైడ్ వేగవంతమైన ప్రతిచర్య మరియు అధిక సామర్థ్యం యొక్క ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది, ముఖ్యంగా సిలికాన్-కలిగిన పదార్థాల యొక్క ఎచింగ్లో, సిలికాన్ నైట్రైడ్ వంటి పదార్థాల చెక్కడం, ఇది అధిక ఎచింగ్ రేట్ మరియు సెలెక్టివిటీని కలిగి ఉంది, ఎట్చెడ్ ఆబ్జెక్ట్ యొక్క ఉపరితలం మీద అవశేషాలు లేవు, మరియు ఇది చాలా మంచి ఏజెంట్ యొక్క ప్రాసెస్ యొక్క ప్రాసెస్.