హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్తీవ్రమైన వాసనతో రంగులేని వాయువు. దీని సజల ద్రావణాన్ని హైడ్రోక్లోరిక్ ఆమ్లం అంటారు, దీనిని హైడ్రోక్లోరిక్ ఆమ్లం అని కూడా పిలుస్తారు. హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్ నీటిలో చాలా కరిగేది. 0 ° C వద్ద, 1 వాల్యూమ్ నీరు 500 వాల్యూమ్ల హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్ను కరిగించగలదు.
ఇది క్రింది లక్షణాలు మరియు లక్షణాలను కలిగి ఉంది:
1. అధిక స్వచ్ఛత
ఎలక్ట్రానిక్ గ్రేడ్ యొక్క స్వచ్ఛతహైడ్రోజన్ క్లోరైడ్సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో ఎటువంటి మలినాలను ప్రవేశపెట్టకుండా చూసుకోవడానికి సాధారణంగా పిపిఎమ్ లేదా తక్కువ స్థాయిలో చాలా ఎక్కువ.
2. జడత్వం
ఇది రసాయనికంగా జడ వాయువు, ఇది అనేక ఇతర పదార్ధాలతో స్పందించదు, ఇది సెమీకండక్టర్ పదార్థాలు మరియు పరికరాల కలుషితాన్ని నివారించడానికి చాలా ముఖ్యం.
3. అధిక స్థిరత్వం
ఎలక్ట్రానిక్ గ్రేడ్హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్సాధారణంగా నమ్మకమైన సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ను నిర్ధారించడానికి స్థిరమైన కెమిస్ట్రీని కలిగి ఉంటుంది.
సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్లో, ఎలక్ట్రానిక్ గ్రేడ్ హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్ యొక్క ప్రధాన అనువర్తనాలు:
1. ఉపరితల శుభ్రపరచడం మరియు తయారీ
సమర్థవంతమైన ఉపరితల క్లీనర్గా, ఎలక్ట్రానిక్ గ్రేడ్హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్ఎపిటాక్సియల్ పొర లేదా చలనచిత్రం యొక్క నాణ్యత మరియు స్వచ్ఛతను నిర్ధారించడానికి ఉపరితల ఉపరితలం నుండి ఆక్సైడ్లు మరియు మలినాలను తొలగించడానికి ఉపయోగిస్తారు.
2. ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ఎయిడ్
ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలో ఉపరితల చికిత్స ఏజెంట్గా ఉపయోగించబడుతుంది, ఇది ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క నాణ్యతను మెరుగుపరచడానికి, జాలక సరిపోలికను మెరుగుపరచడానికి మరియు జాలక లోపాల ఏర్పడటాన్ని తగ్గించడానికి సహాయపడుతుంది.
3. సబ్స్ట్రేట్ ప్రీట్రీట్మెంట్
సెమీకండక్టర్ పరికరాల తయారీకి ముందు, ఎలక్ట్రానిక్ గ్రేడ్హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్ఎపిటాక్సియల్ పొర మరియు ఉపరితలం మధ్య సంశ్లేషణను మెరుగుపరచడానికి స్థిరమైన స్థావరాన్ని రూపొందించడానికి ఉపరితల ఉపరితలానికి చికిత్స చేయడానికి ఉపయోగించవచ్చు.
4. నిక్షేపణ సహాయక ఏజెంట్
రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి) లేదా భౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ (పివిడి) ప్రక్రియలో, సెమీకండక్టర్ పదార్థాల నిక్షేపణ ప్రతిచర్యలో పాల్గొనడానికి ఎలక్ట్రానిక్ గ్రేడ్ హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్ను గ్యాస్ దశ బదిలీ మాధ్యమంగా ఉపయోగించవచ్చు.
5. గ్యాస్-ఫేజ్ బదిలీ ఏజెంట్
గ్యాస్-ఫేజ్ ట్రాన్స్ఫర్ ఏజెంట్గా, పదార్థం యొక్క నిక్షేపణ రేటు మరియు ఏకరూపతను సర్దుబాటు చేయడంలో సహాయపడటానికి ఇతర వాయు పూర్వగాములు ప్రతిచర్య గదిలోకి ప్రవేశపెట్టబడతాయి.
ఈ లక్షణాలు ఎలక్ట్రానిక్ గ్రేడ్ చేస్తాయిహైడ్రోజన్ క్లోరైడ్సెమీకండక్టర్ టెక్నాలజీలో ఒక ముఖ్యమైన ప్రాసెసింగ్ ఏజెంట్, ఇది తుది పరికరం యొక్క పనితీరు మరియు విశ్వసనీయతపై కీలకమైన ప్రభావాన్ని చూపుతుంది.
సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్లో దాని వాడకంతో పాటు, ఎలక్ట్రానిక్ గ్రేడ్ హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్ ఇతర ప్రాంతాలలో వివిధ రకాల ఉపయోగాలను కనుగొనగలదు: వీటిలో: అధిక స్వచ్ఛత పదార్థాలు, ఇంధన కణాలు, సెమీకండక్టర్ పదార్థ పెరుగుదల, ఆవిరి దశ లితోగ్రఫీ, మెటీరియల్ అనాలిసిస్, కెమికల్ రీసెర్చ్.
సాధారణంగా, ఎలక్ట్రానిక్ గ్రేడ్హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్సెమీకండక్టర్ తయారీ వెలుపల విస్తృతమైన అనువర్తనాలను కలిగి ఉన్న బహుముఖ, అధిక స్వచ్ఛత వాయువు.
పోస్ట్ సమయం: డిసెంబర్ -17-2024