హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్అనేది ఘాటైన వాసన కలిగిన రంగులేని వాయువు. దీని జల ద్రావణాన్ని హైడ్రోక్లోరిక్ ఆమ్లం అంటారు, దీనిని హైడ్రోక్లోరిక్ ఆమ్లం అని కూడా పిలుస్తారు. హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్ నీటిలో బాగా కరుగుతుంది. 0°C వద్ద, 1 ఘనపరిమాణ నీరు దాదాపు 500 ఘనపరిమాణ హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్ను కరిగించగలదు.
ఇది క్రింది లక్షణాలు మరియు లక్షణాలను కలిగి ఉంది:
1. అధిక స్వచ్ఛత
ఎలక్ట్రానిక్ గ్రేడ్ యొక్క స్వచ్ఛతహైడ్రోజన్ క్లోరైడ్సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో ఎటువంటి మలినాలు ప్రవేశపెట్టబడకుండా చూసుకోవడానికి, చాలా ఎక్కువగా ఉంటుంది, సాధారణంగా ppm లేదా అంతకంటే తక్కువ స్థాయిలో ఉంటుంది.
2. జడత్వం
ఇది రసాయనికంగా జడ వాయువు, ఇది అనేక ఇతర పదార్ధాలతో చర్య తీసుకోదు, ఇది సెమీకండక్టర్ పదార్థాలు మరియు పరికరాల కాలుష్యాన్ని నివారించడానికి చాలా ముఖ్యం.
3. అధిక స్థిరత్వం
ఎలక్ట్రానిక్ గ్రేడ్హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్నమ్మకమైన సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ను నిర్ధారించడానికి సాధారణంగా స్థిరమైన కెమిస్ట్రీని కలిగి ఉంటుంది.
సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్లో, ఎలక్ట్రానిక్ గ్రేడ్ హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్ యొక్క ప్రధాన అనువర్తనాలు:
1. ఉపరితల శుభ్రపరచడం మరియు తయారీ
సమర్థవంతమైన ఉపరితల క్లీనర్గా, ఎలక్ట్రానిక్ గ్రేడ్హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్ఎపిటాక్సియల్ పొర లేదా ఫిల్మ్ యొక్క నాణ్యత మరియు స్వచ్ఛతను నిర్ధారించడానికి ఉపరితల ఉపరితలం నుండి ఆక్సైడ్లు మరియు మలినాలను తొలగించడానికి ఉపయోగించబడుతుంది.
2.ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల సహాయం
ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలో ఉపరితల చికిత్స ఏజెంట్గా ఉపయోగించబడుతుంది, ఇది ఎపిటాక్సియల్ పొర నాణ్యతను మెరుగుపరచడానికి, లాటిస్ మ్యాచింగ్ను మెరుగుపరచడానికి మరియు లాటిస్ లోపాలు ఏర్పడటాన్ని తగ్గించడానికి సహాయపడుతుంది.
3. సబ్స్ట్రేట్ ప్రీట్రీట్మెంట్
సెమీకండక్టర్ పరికరాల తయారీకి ముందు, ఎలక్ట్రానిక్ గ్రేడ్హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్ఎపిటాక్సియల్ పొర మరియు ఉపరితలం మధ్య సంశ్లేషణను మెరుగుపరచడానికి స్థిరమైన బేస్ను ఏర్పరచడానికి ఉపరితల ఉపరితలాన్ని చికిత్స చేయడానికి ఉపయోగించవచ్చు.
4. నిక్షేపణ సహాయక ఏజెంట్
రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) లేదా భౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ (PVD) ప్రక్రియలో, ఎలక్ట్రానిక్ గ్రేడ్ హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్ను సెమీకండక్టర్ పదార్థాల నిక్షేపణ ప్రతిచర్యలో పాల్గొనడానికి వాయు దశ బదిలీ మాధ్యమంగా ఉపయోగించవచ్చు.
5. గ్యాస్-ఫేజ్ బదిలీ ఏజెంట్
గ్యాస్-ఫేజ్ ట్రాన్స్ఫర్ ఏజెంట్గా, పదార్థం యొక్క నిక్షేపణ రేటు మరియు ఏకరూపతను సర్దుబాటు చేయడంలో సహాయపడటానికి ఇతర వాయు పూర్వగాములను ప్రతిచర్య గదిలోకి ప్రవేశపెడతారు.
ఈ లక్షణాలు ఎలక్ట్రానిక్ గ్రేడ్ను తయారు చేస్తాయిహైడ్రోజన్ క్లోరైడ్సెమీకండక్టర్ టెక్నాలజీలో ఒక ముఖ్యమైన ప్రాసెసింగ్ ఏజెంట్, ఇది తుది పరికరం యొక్క పనితీరు మరియు విశ్వసనీయతపై కీలక ప్రభావాన్ని చూపుతుంది.
సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్లో దాని ఉపయోగంతో పాటు, ఎలక్ట్రానిక్ గ్రేడ్ హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్ ఇతర రంగాలలో అనేక రకాల ఉపయోగాలను కనుగొనవచ్చు, వాటిలో: అధిక స్వచ్ఛత పదార్థాల తయారీ, ఇంధన కణాలు, సెమీకండక్టర్ పదార్థ పెరుగుదల, ఆవిరి దశ లితోగ్రఫీ, పదార్థ విశ్లేషణ, రసాయన పరిశోధన.
సాధారణంగా, ఎలక్ట్రానిక్ గ్రేడ్హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్సెమీకండక్టర్ తయారీ వెలుపల విస్తృత శ్రేణి అనువర్తనాలను కలిగి ఉన్న బహుముఖ ప్రజ్ఞాశాలి, అధిక స్వచ్ఛత గల వాయువు.
పోస్ట్ సమయం: డిసెంబర్-17-2024